انتہائی الٹرا وایلیٹ لتھوگرافی (ایول) کیا ہے؟ - ٹیکپوپیڈیا سے تعریف

تعریف - انتہائی الٹرا وایلیٹ لتھوگرافی (EUVL) کا کیا مطلب ہے؟

انتہائی الٹرا وایلیٹ لتھوگرافی (EUVL) ایک اعلی درجے کی ، انتہائی عین مطابق لتھوگرافی تکنیک ہے جو مائکروچپس کی تیاری کے ل allows 10 گیگاہرٹج گھڑی کی رفتار کی حمایت کرنے کے ل enough کافی چھوٹی خصوصیات کی سہولت فراہم کرتی ہے۔

EUVL سپر چارجڈ زینن گیس کا استعمال کرتا ہے ، جو الٹرا وایلیٹ لائٹ خارج کرتا ہے اور سلیکن وفر پر روشنی کی توجہ مرکوز کرنے کے لئے انتہائی عین مطابق مائیکرو آئینے کا استعمال کرتا ہے تاکہ یہاں تک کہ عمدہ خصوصیت کی چوڑائی پیدا ہوسکے۔

ٹیکوپیڈیا میں انتہائی الٹرا وایلیٹ لتھوگرافی (EUVL) کی وضاحت

اس کے برعکس ، EUVL ٹیکنالوجی روشنی کو فوکس کرنے کے لئے ایک الٹرا وایلیٹ لائٹ سورس اور لینس استعمال کرتی ہے۔ عینک کی حد بندی کی وجہ سے یہ اتنا عین مطابق نہیں ہے۔

EUVL عمل مندرجہ ذیل ہے:

1. ایک لیزر زینون گیس پر ہدایت کی گئی ہے ، جو پلازما بنانے کے ل it اسے گرم کرتی ہے۔
2. پلازما روشنی 13 نینو میٹر پر پھیلتی ہے۔
3. روشنی کو ایک کنڈینسر میں جمع کیا جاتا ہے اور پھر اسے ماسک کی طرف ہدایت کی جاتی ہے جس میں سرکٹ بورڈ کی ترتیب ہوتی ہے۔ ماسک دراصل چپ کی کسی ایک پرت کی نمونہ نمائش ہے۔ یہ آئینے کے کچھ حصوں پر جاذب لگانے کے ذریعہ تیار کیا گیا ہے لیکن دوسرے حصوں میں نہیں ، سرکٹ پیٹرن تشکیل دے کر۔
4. ماسک کا نمونہ چار سے چھ آئینے کی ایک سیریز پر ظاہر ہوتا ہے ، جو سلیکن وفر میں مرکوز ہونے سے پہلے تصویر کے سائز کو سکڑنے کے لئے آہستہ آہستہ چھوٹا ہوجاتا ہے۔ عکس بنانے کے لئے آئینہ روشنی کو تھوڑا سا جھکاتا ہے ، جیسے کیمرے کے لینس کا سیٹ لائٹ کو موڑنے اور فلم میں تصویر ڈالنے کا کام کرتا ہے۔